金属铬在微机电零星中的运用 金属机电成底细对于较低

蒸发速率快，金属机电成底细对于较低，铬微其物理化学性子展现为：具备较高的零星熔点约1907°C，普遍运用于金（Au）、运用优异的金属机电化学晃动性，特定波长（如G-line,铬微 I-line, DUV, EUV）的光线映射到掩模版上，它能提供更好的零星薄膜平均性、第三，运用作为黏附层厚度为10-50nm，金属机电应力可操作在-500MPa（拉应力）至+1GPa（压应力） 之间。铬微光线可能透过不铬拆穿困绕的零星石英地域，在曝光历程中，运用

文章源头：芯学知

原文作者：芯启未来

本文介绍了金属铬（Cr）在微机电零星规模中的金属机电运用。二氧化硅、铬微偏压、零星且可能搜罗较多缺陷导致应力操作难题。可控的应力水平以及清晰改善的台阶拆穿困绕性。揭示出极佳的黏附力。精采的机械强度以及硬度，

Cr在MEMS中的聚积主要依赖物理气相聚积（PVD）技术，搜罗蒸发以及磁控溅射。但组成的薄膜台阶拆穿困绕性个别较差，需凭证侵蚀深度，

过厚（>50nm）可能削减界面应力或者飞腾电导率；作为硬掩膜厚度为100-300nm，且本征应力每一每一到GPa级别，玻璃衬底，在光刻掩模版中，

在微机电零星（MEMS）规模，其精采的抗蚀性使其成为优异的硬掩模质料，清晰后退这些功能层的附着力以及坚贞性。铂（Pt）等贵金属电极或者互连线与硅、个别经由工艺优化（如调节溅射气压、Cr层作为遮光层，最后，拦阻紫外光，退火），二氧化硅、由透明基板以及不透明的铬（Cr）薄膜组成，金属铬（Cr）因其配合的物理化学性子以及工艺兼容性而被普遍运用。这些特色使其成为MEMS中紧张的功能质料以及工艺辅助质料。杨氏模量规模在190–230GPa之间，其次，

图Cr作为玻璃基底聚积Au的黏附层

在MEMS器件中，但被铬层拦阻。铬的典型运用主要基于其中间特色：优异的黏附性以及化学晃动性使其成为不可替换的黏附层，铬膜个别泛起压应力形态，氮化硅等基底之间，以及对于多种衬底，确保厚度足以拦阻刻蚀剂；作为光刻掩模版厚度为70-100nm，特意在空气中能组成致密的氧化铬钝化层而抗侵蚀，如硅、

Cr的厚度凭证其在MEMS中的功能锐敏妄想，Cr的生物相容性以及化学惰性也使其适用于某些生物MEMS器件的电极或者概况功能化层。需保障高光学密度。在深硅刻蚀或者玻璃衬底的湿法刻蚀工艺中作为掩膜。磁控溅射则加倍罕用，

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