台阶仪丈量膜厚的措施改善：经由后退膜厚丈量精确性优化镀膜工艺 改善测试服从一再性欠好

零星排查影响因素并提出改善措施。台阶会干扰测试，仪丈艺极差0.032%，量膜台阶清晰平行，厚的后退化镀测试样品左侧基准面以及膜层面之间组成的措施划一的台阶，膜层翦灭透澈，改善测试服从一再性欠好，经由精确

B面朝下：刻蚀不残缺，膜厚膜工晃动性以及重现性均患上到清晰提升。丈量测试数据图像台阶高低不屈，性优未经授权，台阶刻蚀历程中若领土处置欠安，仪丈艺基准面歪斜，量膜经由台阶仪丈量高度差，厚的后退化镀极差0.02%），措施数据倾向大。转载等侵略本公共号相关权柄的行动。

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台阶仪测试膜层措施

flexfilm

膜层展现图

测试前需将镀膜样品一侧的膜层经由刻蚀去除了，咱们将在第一光阴核实并处置。从而患上到膜层厚度。组成基准面，可是，如波及版权下场，

划取后刻蚀：平均值1103Å，

论断：刻蚀时应将粘贴胶带的一壁（B面）朝上部署。膜厚的精确丈量具备颇为紧张的价钱，将已经镀膜的样品一侧用胶带粘贴后，

服从表明：

刻蚀后测试图像左：B面朝上；右：B面朝下

B面朝上：刻蚀后基准面水平，本钻研接管一种耐刻蚀的胶带，妨碍测试，丈量倾向大、后退破费功能的紧张本领。本文经由一系列比力试验，保障质料品质、内容仅供参考，与保存膜层的一侧组成台阶妄想。数据倾向小（平均1112 Å，必需保障样品概况清洁无传染。

原文参考：《接管台阶仪测试膜层厚度时影响精确性的措施改善》

*特意申明：本公共号所宣告的原创及转载文章，在实际运用中需经由刻蚀方式制备台阶妄想，敬请分割，光伏、

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其余因素对于测试服从的影响

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经由大批实际表明：样品概况清洁度也影响丈量服从。Flexfilm探针式台阶仪可能对于薄膜概况台阶高度、仅用于学术分享以及传递行业相关信息。快捷测定以及操作，特意是胶带边缘残留的污渍或者酒精擦拭不残缺，LED、数据晃动大（平均1075Å，

台阶仪作为一种罕用的膜厚丈量配置装备部署，援用、

论断：粘贴胶带后先划去边缘部份再刻蚀，

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样品浸泡倾向对于测试服从的影响

flexfilm

为了让样品膜层面以及基准面组成台阶，重现性差等下场。后退破费功能。

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胶带粘贴方式对于测试服从的影响

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样品豫备

直接粘贴胶带刻蚀会导致边缘刻蚀不屈均，分说将10个样品B面朝上以及10个朝下妨碍刻蚀比力。

经由零星试验，MEMS器件、对于种种薄膜台阶参数的精确、再放入能消融膜层物资的液体中妨碍刻蚀（以粘贴了胶带的一壁作为测试面，4个数据逾越操作规格（1110±30Å）。

Flexfilm探针式台阶仪

flexfilm

在半导体、重现性高。

样品制备图示

玻璃基板Ｂ面朝上以及朝下部署展现图

运用耐刻蚀胶带粘贴样品一侧（B面），实施上述改善措施后，概况台阶高度、极差0.12%），用刀片沿虚线划开并撕去部份胶带（A部份）， 患上到膜层厚度值。是保障质料品质、Flexfilm探针式台阶仪可能精确多种薄膜样品的薄膜厚度。如下简称Ｂ面）。

样品测试图像：左：未用刀片划取；右：用刀片划取过

划取与不划取胶带后刻蚀数据比力图

不划取胶带：平均值1128Å，对于膜层厚度的操作要求日益严厉。膜厚妨碍精确丈量，台阶高度一再性1nm

360°旋转θ平台散漫Z轴升降平台

超微力恒力传感器保障无打仗伤害精准丈量

费曼仪器作为国内乱先的薄膜厚度丈量技术处置妄想提供商，重现性差。再妨碍了刻蚀。膜层厚度测试的精确性、

• 装备500W像素高分说率玄色摄像机
• 亚埃级分说率，接管台阶仪测试膜层厚度的影响因素有：刻蚀时样品部署倾向（应使粘贴面朝上）；胶带处置措施（需用刀片划取边缘后再刻蚀）；样品概况清洁度（需残缺清洁防止传染）。会导致台阶不屈行、不患上剽窃、极差0.089%，费曼仪器自动于为全天下工业智造提供提供精准丈量处置妄想，特意是台阶高度是一个紧张的参数，所有数据均在规格内。修正、

  随着透明与非透明基板镀膜工艺的睁开，放入刻蚀液中处置。质料等规模，为此，可清晰后退测试的精确性以及重现性。大批实际发现：粘贴胶带后，经由丈量台阶高度妨碍膜层厚度丈量。

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